更新日期：2025年3月14日

姓 名 肖舒 性 别 男 出生年月 籍贯 江西赣州市 民 族 汉族 政治面貌 中国共产党党员 最后学历 博士研究生 最后学位 理学博士 技术职称 副教授 导师类别 博导 行政职务 系副主任 Email xiaos@scut.edu.cn 工作单位 华南理工大学 邮政编码 通讯地址 天河区五山路381号 单位电话

个人简介

肖舒，华南理工大学副教授，博士生导师。研究方向：1.等离子体表面改性及先进镀膜装备研发；2.半导体装备零部件表面防护。主持国家自然科学基金（面上、青年各1项）、广东省自然科学基金（面上、粤穗联合各1项）、中国博士后基金项目、广州市科技项目、中央高校基本科研业务费（重点、面上各1项）等纵向课题13项，横向课题7项；在J Mater. Sci. Technol.、Chem. Eng. J、Tribol. Int.、Corros. Sci.及Carbon等权威期刊上发表SCI论文70余篇，被引超1300次，H-index为21；申请发明专利40件，获授权20件，PCT专利1件；制定标准1项，教材1部；2021年入选“蓝海人才计划”创新创业团队项目牵头人；获中国职工技术创新成果一等奖、广东省真空科技进步一等奖、防腐蚀协会科学技术奖、广东省教育厅优秀创新创业导师、北大优秀毕业生、北大五四奖学金等；与江苏高光半导体材料有限公司合作研发的具有完全自主知识产权的低应力磁控溅射阴极系统及高效冷却系统，实现了6代CVD Mask氧化铝耐刻蚀涂层国产化。

工作经历

2021.07  –  至    今     华南理工大学      副教授
2019.06 – 2021.06     香港城市大学      博士后
2018.08 – 2021.06     华南理工大学      助理研究员

教育经历

2014.09 – 2018.07     北京大学          工 学 院     博士学位

获奖、荣誉称号

2024 广东省真空科技进步一等奖（排1）
2024 中国职工技术协会腐蚀控制与涂装技术领域创新成果一等奖（排1）
2024 广东省防腐蚀协会科学技术奖（排1）
2024 广东省教育厅国际大学生创新大赛优秀创新创业导师
2023 中集奖教金专项奖
2021 入选第十二批佛山市“蓝海人才计划”创新创业团队，并担任牵头人
2020 华南理工大学“优秀党员”荣誉称号
2018 获北京大学“优秀毕业生”荣誉称号
2017 获北京大学“五四”奖学金

社会、学会及学术兼职

2024 江苏省光电显示产业联盟专家委员会委员
2023 广东省半导体装备与零部件学会理事
2023 广东省机械工程学会摩擦学分会副秘书长
2023 广东省机械工程学会摩擦学分会理事
2023 广东省机械工程学会表面处理分会理事
2022 广东省真空学会理事
2021 广东省防腐蚀协会，副秘书长

研究领域

1. 等离子体表面改性及先进镀膜装备研发；
2. 半导体装备零部件表面防护。

科研项目

代表性项目：
[1] 临氢服役耐磨涂层表界面构筑及沉积离子精准调控机制研究，国家自然科学基金面上项目，65万，批准号：52375182，2024-2027，主持
[2] 基于沉积离子能量精准调控机制的MeN超硬薄膜生长机理研究，国家自然科学基金青年基金项目，30万，批准号：52005187，2021-2023，主持
[3] 碳基涂层阻氢渗透行为机理研究及能量调控模型的构建，广东省自然科学基金面上项目，10万，批准号：2023A1515012308，2023-2025，主持
[4] “华南理工大学-高光新型柔性显示掩膜版研发联合实验室”建设经费，江苏高光半导体材料有限公司，20221756，300万，2022-2027，主持
[5] 无氧铜表面耐热冲击、耐刻蚀氧化物涂层研发，企业委托项目，100.2万元，2024-2025，主持
[6] G8.6代CVD Mask表面氧化铝涂层生产线关键技术研发，企业委托项目，100万元，2024-2025，主持
[7] 耐氟等离子体刻蚀陶瓷涂层设计与制备技术研究，企业委托项目，50.1万元，2023-2024，主持
[8] TSV表面金属化及膜层失效机理研究，企业委托项目，50万元，2022-2025，主持

发表论文

近三年代表性论文：
[1] Shuyu Fan（22级博士生）, Shu Xiao*, Hu Zhang, Songsheng Lin*, Jing Wu, Fenghua Su, Paul K. Chu，High-Temperature Friction and Oxidation Resistance of Self-Sacrificial Diamond Graphene Heterostructures Coatings. Carbon, 2025. (IF: 10.5, JCR Q1, TOP)
[2] Zishuo Ye（23级博士生）, Shu Xiao*, Yinong Chen, Shuyu Fan, Yi Wu, Fenghua Su, Paul K. Chu. In situ fabricated yttrium doping coatings on aluminum alloy as highlyaffinity kosmotrope fluorine anti-corrosion surface. Chemical Engineering Journal, 2025, 506: 160032. (IF: 13.4, JCR Q1, TOP)
[3] Chao Yang, Zongmin Sun, Chenyu Wang, Aihui Huang, Zishuo Ye, Tao Ying, Liping Zhou, Shu Xiao*, Paul K. Chu, Xiaoqin Zeng. A self-sealing and self-healing MAO corrosion-resistant coating on aluminum alloy by in situ growth of CePO4/Al2O3. Corrosion Science, 2025, 245: 112706. (IF: 7.9, JCR Q1, TOP)
[4] Yinong Chen1（22级硕士生）, Shuyu Fan1（22级博士生）, Shu Xiao*, Yi Wu, Jing Wu, Guoliang Tang, Xinyu Meng, Fenghua Su, Zhujun Li, Paul K. Chu. Bi-directional Evolution of Graphenic Vacancy Structure in Oxygen Plasma Treatment. Tribology International, 2025, 204: 110529. (IF: 6.2, JCR Q1, TOP)
[5] Chao Yang, Chenyu Wang, Zhao Shen*, Liping Zhou, Liyuan Sheng *, Daokui Xu, Yufeng Zheng, Paul K. Chu, Shu Xiao*, Tao Ying, Xiaoqin Zeng. Simultaneous improvement of wear and corrosion resistance of microarc oxidation coatings on ZK61 Mg alloy by doping with ZrO2 nanoparticles. Journal of Materials Science & Technology, 2024, 224: 312-327. (IF: 11.2, JCR Q1 TOP)
[6] Shuyu Fan1（22级博士生）, Yinong Chen1, Shu Xiao *, Kejun Shi, Xinyu Meng, Songsheng Lin*, Fenghua Su, Yifan Su, Paul K. Chu. In situ self-adaptive growth of graphene coatings on hard substrates via competitive NiCo catalysis reaction. Carbon, 2024, 216: 118561. (IF: 10.5, JCR Q1, TOP)
[7] Shuyu Fan（22级博士生）, Yinong Chen, Jing Wu, Shu Xiao *, Guohua Chen, Paul K. Chu. Structure, superlubricity, applications, and chemical vapor deposition methods of graphene solid lubricants. Tribology International, 2024, 198: 109896. (IF: 6.2, JCR Q1, TOP)
[8] Yixiong Gao1（21级硕士生）, Yinong Chen 1（22级硕士生）, Shu Xiao *, Tijun Li*, Hao Wu, Xinyu Meng, Wenju Li, Shuyu Fan, Zishuo Ye, Guohua Chen, Paul K. Chu. Effects and mechanism of Zn on the structure and corrosion resistance of microarc oxidation coatings on aluminum alloy. Applied Surface Science, 2024, 659: 159909. (IF: 6.3, JCR Q1, TOP)
[9] Xinyu Meng（21级硕士生）, Shu Xiao*, Chunming Wu, Wenju Li, Shuyu Fan, Kejun Shi, Paul K. Chu. Enhanced hydrogen resistance of X70 pipeline steels by adaptive growth of NiCr composite coatings with Cr/FexNiy inlaid structures. Journal of Alloys and Compounds, 2024, 997: 174932. (IF:5.8, JCR Q1, TOP)
[10] Yi Wu（22级硕士生）, Shu Xiao *, Yinong Chen, Wenlu Dong, Jiancheng Liu, Yong Huang, Kejun Shi, Shuyu Fan, Zishuo Ye, Guoliang Tang, Paul K. Chu. Oxygen Plasma-Assisted Magnetron Sputtering Deposition of Non-stoichiometric Y2O3 Films: Influence of Oxygen Vacancies on Etching Resistance. Surface & Coatings Technology, 2024, 494: 131448. (IF: 5.4, JCR Q1, TOP)
[11] Xiangsong Lin, Jingwen Wang, Ningqing Wu, Mingxia Liu, Haiyan Li, Ying Zhang, Qingyang Li, Shu Xiao *, Weihong Jin, Zhentao Yu, Paul K. Chu. Strontium-zinc-based phosphate coatings fabricated in situ on the zinc-pretreated magnesium alloy for degradation control and cytocompatibility enhancement. Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects, 2024. (IF: 5.2, JCR Q2)
[12] Wenju Li（21级硕士生）, Shu Xiao *, Xiaobo Zhang, Xinyu Meng, Yixiong Gao, Shuyu Fan, Tijun Li , Paul K Chu. Effects and modulation mechanism of crystal structure on residual stress of Cu films used for metallization. Thin Solid Films, 2024, 140556. (IF: 2, JCR Q3)
[13] 吴熠（22级硕士生）, 唐国梁, 李文举, 肖舒*. Invar 36表面脉冲直流磁控溅射制备AlN薄膜择优取向调控及性能研究. 中国表面工程，2024. （ESCI、EI收录）doi: 10.11933/j.issn.1007−9289. 20231129001
[14] Shuyu Fan（22级博士生）, Shu Xiao⁎, Songsheng Lin⁎, Fenghua Su, Yifan Su, Paul K. Chu. Macroscale superlubricity and durability of in situ grown hydrogenated graphene coatings. Chemical Engineering Journal, 2023, 459: 141521. (IF: 13.4, JCR Q1, TOP)
[15] Yixiong Gao（21级硕士生）, Shu Xiao*, Hao Wu, Chunming Wu, Guohua Chen, Yansheng Yin, Paul K. Chu. Effect of h-BN nanoparticles incorporation on the anti-corrosion and anti-wear properties of micro-arc oxidation coatings on 2024 aluminum alloy. Ceramics International, 2023, 49(23). (IF: 5.5, JCR Q1, TOP)
[16] Shu Xiao, Xinyu Meng（21级硕士生）, Kejun Shi, Liangliang Liu, Hao Wu, Weiqi Lian, Chilou Zhou*, Yunrong Lyu, Paul K. Chu*. Hydrogen permeation barriers and preparation techniques: A review. Journal of Vacuum Science & Technology A, 2022, 40: 060803. (Featured Article IF: 3.23, JCR Q2.)
[17] Liangliang Liu, Qingdong Ruan, Shu Xiao*, Xinyu Meng, Chao Huang, Yuzheng Wu, Ricky K.Y. Fu, Paul K. Chu. Fabrication and hydrogen permeation resistance of dense CrN coatings. Surface & Coatings Technology, 2022, 437: 128326. (IF: 5.3, JCR Q1, TOP)
[18] Kejun Shi（18级硕士生）, Shu Xiao*, Qingdong Ruan, Hao Wu, Guohua Chen, Chilou Zhou, Saihua Jiang, Ke Xi, Mohan He, Paul K. Chu. Hydrogen permeation behavior and mechanism of multi-layered graphene coatings and mitigation of hydrogen embrittlement of pipe steel. Applied Surface Science, 2022, 573: 151529. (IF: 7.392, JCR Q1, TOP)
[19] Kejun Shi（18级硕士生）, Xinyu Meng, Shu Xiao*, Guohua Chen, Hao Wu, Chilou Zhou, Saihua Jiang, Paul K. Chu. MXene Coatings: Novel Hydrogen Permeation Barriers for Pipe Steels. Nanomaterials, 2021, 11: 2737. (IF: 5.719, JCR Q1)
[20] Xiaojiong Zhao, Ziwei Liang, Yubin Huang, Yu Hai, Xiaodi Zhong, Shu Xiao*, Saihua Jiang*, Influence of phytic acid on flame retardancy and adhesion performance enhancement of poly (vinyl alcohol) hydrogel coating to wood substrate. Progress in Organic Coatings, 2021, 161: 106453. (IF: 6.206, JCR Q1, TOP)
[21] Chen Guohua, Shi Kejun, Chu Jinke, Wu Hao, Zhou Chilou, Xiao Shu*. Numerical simulation and optimization of cooling flow field of cylindrical cathode with annular magnetic field. Acta Physica Sinica, 2021, 70（7）：075203. (SCI, 卓越期刊)

出版专著和教材

出版教材：
翁健，于沛（主编），肖舒（副主编）《实验室安全科学概论》，广东省教育厅知道编写，国家一流本科课程教材，科学出版社，2024年。（第七、八章内容）
标准：
钱超、韩立成、甘帅燕、肖舒、陈晓霞、王亚、张蔡星、余强根、陈涛、林崇、田扬、杨青丰、李飞、吕家东、考宏涛。主动矩阵有机发光二极体面板（AMOLED）真空镀膜用金属掩膜版，标准编号：T/JSIES 010-2024，实施日期：2024年06月10日。

科研创新

[1] 肖舒，李文举，范舒瑜，一种超低应力金属薄膜的制备方法，2024.04.09，授权公告号：CN118308699B。
[2] 肖舒，唐国梁，陈梓铭，黄扬春，满润涛，无线自供电装置、无线测温系统及无线测温方法，2024.04.23，授权公告号：CN118326354B。
[3] 肖舒，吴熠，刘建诚，黄勇，范舒瑜，一种含有不同择优取向的氮化铝涂层及制备方法，2023.12.28，授权公告号：CN118147578B。
[4] 肖舒，吴熠，叶子硕，刘健诚，黄勇，陈茵婷，一种低粗糙度氧化钇涂层的制备方法，2023.12.22，授权公告号：CN117265480B。
[5] 肖舒，陈艺浓，范舒瑜，蒙心钰，一种甩带法制备极薄因瓦带材及其方法，2022.09.30，授权公告号：CN115533050B。
[6] 肖舒，吴熠，李嘉坤，孙泽润，超声清洁高效散热型磁控溅射阴极，2021.07.05，授权公告号：CN113463052B。
[7] 肖舒，李文举，吴熠，一种基于过滤弧源的离子注入沉积装置及沉积方法，2022.04.20，授权公告号：CN114883164B。
[8] 肖舒，陈茵婷，黄奕晖，陈国华，一种氮化铝防腐层制备用电喷设备，2022.04.06，授权公告号：CN115957902B。
[9] 肖舒，陈茵婷，黄奕晖，陈国华，利用氮化铝制备电路板防护层的装置及其工艺，2022.03.10，专利号：ZL 202210228991.3。（授权发明专利）
[10] 肖舒，吴昊，周池楼，陈国华，石科军，基于氢储运装备内表面的阻氢涂层及制备方法，2020.07.10，授权公告号：CN111826612B。
[11] 肖舒，吴昊，周池楼，陈国华，石科军，一种氢储运设备内表面的阻氢涂层及制备方法，2020.07.10，授权公告号：CN113072063B。
[12] 肖舒，陈茵婷，杨博文，田炜业，陈珏君，孙静蕾，张依萍，一种5G通讯电路板的超声清洗装置，2022.01.19，授权公告号：CN217165572U。
[13] 肖舒，陈茵婷，黄奕晖，陈国华，杨博文，田炜业，一种5G通讯电路板的涂层抛光装置，2022.01.14，授权公告号：CN216681683U。
[14] 肖舒，吴熠，刘建诚，江赛华，一种提高氧化钇涂层耐刻蚀性能的方法，2024.08.30，专利号：ZL 2024112063823.（授权发明专利）
[15] 肖舒，陈茵婷，刘建诚，赵升，李强，一种具有自修复性能的铜基氧化钇涂层的制备方法，2024.12.19，申请号：2024118781165。
[16] 肖舒，赵升，陈梓铭，张曦月，李思毅，江赛华，无线自供电等离子体密度测试系统及测试方法，2024.11.25，申请号：2024116916647。
[17] 肖舒，刘建诚，黄勇，范泽菲，李思毅，江赛华，一种耐热冲击氧化铝涂层的制备方法，2024.10.24，申请号：2024114876518.（发明专利）
[18] 肖舒，叶子硕，赵升，张虎，江赛华，一种铝合金表面耐氟腐蚀微弧氧化涂层的制备方法，2024.09.10，申请号：2024112639772.（发明专利）
[19] 肖舒，范舒瑜，陈艺浓，吴静，一种碳基复合涂层的制备方法，2024.03.20，申请号：2024103227449.（发明专利）
[20] 肖舒，高一雄，范舒瑜，叶子硕，一种在铝合金表面制备掺Zn2+的强耐蚀性微弧氧化陶瓷复合涂层的方法，2023.10.23，申请号：2023113751671。（发明专利）
[21] 肖舒，高一雄，范舒瑜，一种基于铝合金表面微弧氧化陶瓷复合涂层及制备方法，2023.04.03，申请号：202310355507.8. (发明专利)
[22] 肖舒，蒙心钰，石科军，一种基于旋涂法制备的MXene涂层在阻氢过程中的应用，2021.12.22，申请号：202111583567.2. (发明专利)
[23] 肖舒，吴俊越，孙泽润，李嘉坤，低应力绝缘阻隔耐腐蚀涂层制备方法，2021.06.30，申请号：202110754555.5.（发明专利）
[24] Shu XIAO, Yi WU, Zishuo YE, Jiancheng LIU, Yong HUANG, Yinting CHEN, An Invention relates to A Preparation Method of Low Roughness Yttrium Oxide Coatings. 2024.10.28, PCT/CN2024/127752.

教学活动

本科生课程：
《职业卫生及工程》、《安全生产法规与标准》、《职业健康安全管理体系》、《保险学原理》
研究生课程：
《弹塑性力学》

指导学生获奖：
2024年度（首批）中国科协青年人才托举工程 博士生专项计划（2025.01-2026.12），托举学会：中国真空学会，范舒瑜
2024年中国国际大学生创新大赛 国家级铜奖（国际赛道，石科军等）
2024年中国国际大学生创新大赛 广东省金奖
2024年中国国际大学生创新大赛 华南理工大学校金奖
2024年第十一届中国青年创青春大赛（科技创新专项）创新组国家级优秀奖（刘建诚）
2024年“创青春”大赛云南省一等奖（刘建诚）
2024年博士生国家奖学金（校长奖学金）（22级博士生范舒瑜）
2024年硕士生国家奖学金（22级硕士吴熠）
2024年第九届广东省真空技术青年优秀论文奖, 一等奖（22级硕士吴熠）
2023年首届“捷安杯”安全科学与工程类专业技能竞赛华南赛区一等奖（1位）、二等奖（2位）、三等奖（1位）
2023年2021安工班获评“先进班集体”荣誉称号
2023指导学生获得华南理工大学第十四届“挑战杯”大学生创业计划竞赛银奖2项（负责人：林淼清、陈茵婷）
2023指导本科生获得国家级大创项目1项，省级2项
2023 指导本科生SRP项目1项
2021 指导学生获得第十二届全国大学生过程装备实践与创新大赛三等奖
2020第六届中国国际“互联网+”大学生创新创业大赛，校铜奖
2019 指导学生获得2019年第十届全国过程装备实践与创新大赛一等奖。

指导学生情况

协助指导毕业硕士生1人，2022年于University of Groningen攻读博士学位；
在读博士研究生4人；
在读硕士研究生11人。