更新日期:2023年6月2日
个人简介
周绍林,华南理工大学微电子学院/电子与信息学院副教授,硕士生导师。2006年本科毕业于哈尔滨工业大学,获学士学位;2011年7月毕业于中国科学院研究生院(现在中国科学院大学),获工学博士学位。毕业至今长期从事微纳光子器件及光电子集成、微加工(光刻)工艺技术,近年来专注太赫兹与红外电磁器件与光电子集成器件,如光学与太赫兹电磁超表面滤波器、相变可调光电子集成器件(传感器、光电开光、调制器等)领域。先后加拿大西安大略大学(UWO)、香港科技大学电子与计算机工程系开展博士后访问研究,相关研究工作主要面向新型微电子与光电器件。先后获中科院“朱李月华优秀博士奖”、“四川省优秀毕业生”、“香江学者奖”、“广州市珠江科技新星”等荣誉称号。至今,在微光电器件、太赫兹与红外光电技术领域,先后获得国家自然科学基金(1项)以及广东省科技计划等省部级项目(6项)资助,以第一作者&通讯作者发表中科院JCR三区以上SCI论文近30篇。其中,当前的微光电子器件方向侧重于应用研究,如超表面滤波结构在集成光电子器件、红外光探测器件中的应用,探索如何实现特定波段电磁吸收增强、如何实现内部表面等离子体共振促进(光生)热载流子注入与发射、如何实现基于介质相变实现动态电磁行为的光电调控(幅度、相位与偏振态或极化态)等,相关研究在微纳光电器件/系统或芯片、光传输及及互联、红外传感、光通信等领域有着极大的潜力。
工作经历
(1)2018.09-至今, 华南理工大学, 微电子学院, 副教授
(2)2016.9-2018.08, 华南理工大学, 电子与信息学院, 副教授
(3)2016.1-2018.1, 香港科技大学, 电子与计算机工程系, 香江学者
(4)2013.2-2014.10, 加拿大西安大略大学, 机械与材料工程系, 博士后
(5)2011.1-2016.9, 华南理工大学, 电子与信息学院, 讲师
教育经历
(1) 2006.7–2011.7, 中国科学院研究生院/中科院光电技术研究所, 测试计量技术及仪器/光电工程, 博士
(2) 2002.8–2006.7, 哈尔滨工业大学, 测控技术与仪器/光电信息工程, 学士
社会、学会及学术兼职
Nanotechnology, Carbon, Optics Express、Optics Letter、IEEE Photonics Technology Letter、IEEE Photonics Journal等期刊审稿人。
研究领域
微纳光电子集成器件(太赫兹、红外超表面器件)
新型光电子集成器件(光探测器、半导体微激光器、有源光电集成)
微加工工艺(微纳光刻、微光刻3D打印技术)
科研项目
主持国家级及省市代表项目:
[1]. 国家自然科学青年科学基金,“结合立体光刻3D打印的太赫兹金属网滤波器优化加工工艺研究”,2015.01-2017.12;
[2]. 广东省公益研究与能力建设项目(工业高新技术领域)(省部级),“数字投影微光刻3D打印机复合材料、结构相关技术研究与开发”,30万,2015.06-2018.06;
[3]. 香江学者特别资助项目(省部级),“微纳米孔阵列结构自支撑金属膜器件的自上而下设计与加工”,2015.08-2017.12;
[4]. 高分子材料工程国家重点实验室(四川大学)开放课题(省部级),“数字投影3D打印微加工复合材料制备基础问题研究”,2015.06-2016.12;
[5]. 广州市创新人才专项珠江科技新星专题,微器件的紫外光刻3D打印技术研究及应用,201605112223530,2017.01-2019.12;
[6]. 2015年度中央高校基本科研业务费项目(重点),太赫兹复合结构选频器及其立体光刻 3D 打印研究,2015.1-2016.12(结题为“优”);
[7]. 广州市科技计划-基础与应用基础研究项目,“集成纳米超构表面增强红外辐射传感机制”;2022.04.01-2024.3.31;
[8]. 广东省基础与应用基础研究基金项目,“有源超表面连续相位调控及光电集成器件”,2022.01/01-2024.12.31;
发表论文
1. Shaolin, Zhou, Liang Liu, Qinling Deng, Shaowei Liao, Quan Xue, and Mansun Chan, “Intercoupling of Cascaded Metasurfaces for Broadband Spectral Scalability,” Materials (Basel). 16, 1–19 (2023).
2. Shaolin Zhou, Liang Liu, Zhijian Chen et al, Polarization-multiplexed metaholograms with erasable functionality, J. Phys. D. Appl. Phys. 56, 155102:1–12 (2023). DOI 10.1088/1361-6463/acbf61
3. Ruirui, Song; Qinling, Deng; Shaolin, Zhou*, "Photonic meta-switch based on phase change and catenary-enabled continuous phase regulation," Wuli Xuebao/Acta Phys. Sin. 71, 029101:1–7 (2022).
4. Ruirui, Song; Qinling, Deng; Shaolin, Zhou*; Mingbo, Pu. Catenary-based phase change metasurfaces for mid-infrared switchable wavefront control. Opt. Express 2021, 29, 23006–23018.
5. Xiaoyu Ma, Ruirui Song, Zhihua Fan, Shaolin Zhou*, "Phase-Change Metasurface by U-Shaped Atoms for Photonic Switch with High Contrast Ratio," Coatings 11, 1499 (2021).
6. Zhihua Fan, Qinling Deng, Xiaoyu Ma, Shaolin Zhou*, Phase Change Metasurfaces by Continuous or Quasi-Continuous Atoms for Active Optoelectronic Integration. Materials. 2021; 14(5):1272. https://doi.org/10.3390/ma14051272
7. Shaolin Zhou, Shanri Chen, Yufei Wu, Shaowei Liao, Hailiang Li, Changqing Xie, Mansun Chan, “Bistable active spectral tuning of one-dimensional nanophotonic crystal by phase change,” Opt. Express, vol. 28, no. 6, p. 8341, 2020.
8. Shaolin Zhou, Yufei Wu, Shanri Chen, Shaowei Liao, Honglin Zhang, Changqing Xie, Mansun Chan, “Phase change induced active metasurface devices for dynamic wavefront control,” J. Phys. D. Appl. Phys., 2020.
9. Yufei Wu, Shanri. Chen, Shaolin Zhou*, and Shaowei Liao, “A 0 . 67 THz Tunable Meta-surface Filter by Phase Change Medium,” 2019 IEEE MTT-S Int. Wirel. Symp., pp. 1–3, 2019.
10. Honglang Deng, Mansun Chan, and Shaolin Zhou*, “Terahertz broadband band-stop filter based on metasurface,” 2019 IEEE Int. Conf. Electron Devices Solid-State Circuits, pp. 1–3, 2019.
11. Shaolin Zhou, Kezhou Li, Yihan Chen, Shaowei Liao, Honglin Zhang, and Mansun Chan, “Phase Change Memory Cell With Reconfigured Electrode for Lower RESET Voltage,” IEEE J. Electron Devices Soc., vol. 7, no. September, pp. 1072–1079, 2019.
12. Shaolin Zhou, Songlin Mu., S. Raju, C. Prawoto, Xuexuan. Ruan, K. Ng, & Mansun Chan, Prototyping of Terahertz Metasurface by One-Step Lithographically Defined Templating. IEEE Photonics Technology Letters, 30(10), 971-974 (2018).
13. Xiaobin Cai, Shaolin Zhou*(equal contributions co-first author), Mingjun Hu, Junfeng Xiao, Naibo Zhang, and Jun Yang, "Water based fluidic radio frequency metamaterials," J. Appl. Phys. 122, 184101 (2017).
14. Shaolin Zhou, Junbo Liu et al, “Effect of Near-Field Diffraction in Photolithography of Hexagonal Arrays for Dichroic Filters,” IEEE Photonics J. 8, 1–11 (2016).
15. Shaolin Zhou, Junbo Liu, Qian Deng, Changqing Xie, and Mansun Chan, “Depth-of-focus determination for Talbot lithography of large-scale free-standing periodic features,” IEEE Photonics Technol. Lett. 28(22), 2491-2494 (2016).
16. Junbo Liu, Shaolin Zhou*, Yong Yang, Song Hu, Yu He, and Yinghong Chen, “The anomaly of periodicity-doubling in projection photolithography of periodic features,” IEEE Photonics Technol. Lett. 28(22), 2529-2532 (2016).
17. Shaolin Zhou, Yong Yang, Song Hu, Xiangmin Xu, "Scalar-based Analysis Of Phase Gratings etched in the Micro/nanofabrication process," IEEE Photonics Journal, 7(4), 4900111(2015).
18. Junbo Liu, Shaolin Zhou*, et al, “Spectrum-integral Talbot effect to extend Depth-of-Focus for lithography of periodic structures”, IEEE photonics Technology Letters, 27(20), 2201(2015).
19. Shaolin Zhou, Mingjun Hu, Qiuquan Guo et al, "Solvent-transfer assisted photolithography of high-density and high-aspect-ratio superhydrophobic micropillar arrays," J. Micromechanics Microengineering 25, 025005 (2015).
20. Shaolin Zhou, Song Hu, Yongqi Fu, Xiangmin Xu, Jun Yang, “Moiré interferometry with high alignment resolution in proximity lithographic process”, Applied Optics 53(5), 951-959 (2014).
21. Shaolin Zhou, Changqing Xie, Yong Yang, Song Hu et al, “Moiré-Based Phase Imaging for Sensing and Adjustment of In-Plane Twist Angle”, Photonics Technology Letters, IEEE. 25 (2013) 1847–1850.
22. Jiangping Zhu, Song Hu, Junsheng. Yu, Shaolin Zhou*, et al, "Four-quadrant gratings moiré fringe alignment measurement in proximity lithography," Opt. Express 21, 3463-3473 (2013) .
23. Shaolin Zhou, Yong Yang, Lixin Zhao and Song Hu, “Tilt-modulated spatial phase imaging method for wafer-mask leveling in proximity lithography” Opt. Letters, 2010, 35(18): 3132-3134.
24. Wangfu Chen, Wei Yan, Song Hu, Yong Yang, and Shaolin Zhou*. “Extended Dual-Grating Alignment Method for Optical Projection Lithography.” Applied optics 49(4): 708–13, 2010.
25. Wei Yan, Yong Yang, Wangfu Chen, Song Hu, and Shaolin Zhou*. “Moiré-Based Focusing and Leveling Scheme for Optical Projection Lithography.” Applied Optics 49(31): 5959–5963, 2010.
26. Shaolin Zhou, Yongqi Fu, Xiaoping Tang, S. Hu, Wangfu Chen, and Yong Yang, "Fourier-based analysis of moiré fringe patterns of superposed gratings in alignment of nanolithography," Opt. Express, 2008,16(11):7869-7880.
科研创新
1. 【发明专利】李景熙,周绍林等,一种跑到型集成相变微环光开关,申请日期:2023.06.**,申请号:202310*****
2. 【发明专利】李景熙,周绍林等,一种光电集成的光子数模转换器及方法,申请日期:2023.04.25,申请号:2023104586069
3. 【发明专利】李景熙,周绍林等,一种双环微结构的光子神经突触器件与卷积运算网络模型,申请日期:2022.12.26,申请号:202211674522.0
4. 【发明专利】林国政,周绍林等,一种基于超表面的光电集成空间光调制器,申请日期:2022.12.19,申请号:202211633543.8
5. 【发明专利】孙继赓,周绍林等,一种基于相变多级振幅加权调控的集成光子突触,申请日期:2022.1130,申请号:2022115521172.4
6. 【发明专利】周绍林;蔺举;陈振骐;陈润;李斌;吴朝晖,一种六相的正负电压电荷泵,申请日期:2022.10.17,申请号:2022112666126
7. 【发明专利】邹永图,周绍林等,一种基于超表面集成的中红外热释电探测器,申请日期:2022.09.30,申请号:202211211005.X
8. 【发明专利】叶子阳,周绍林等,一种可重构的集成光计算核模型,申请日期:2022.09.21,申请号:202211150996.5
9. 【发明专利】李天,周绍林等,一种投影光刻莫尔对准装置及方法,申请日期:2022.09.30,申请号:202211207341.7
10. 【发明专利】宋睿睿,周绍林等,一种可变焦近红外超表面透镜及其控制方法,申请号:202110847713.1,授权日期:2022.07.26,授权公告号:CN113687453 B
11. 【发明专利】李天,周绍林等,一种振幅型超表面太赫兹压缩感知成像系统及方法,申请日期:2021.5.12,申请号:202110514839.7
12. 【发明专利】罗锐,周绍林等,一种太赫兹有源超表面振幅型空间调制器(专利号:ZL 202110547775.0),授权日期:2022.08.16,授权公告号:CN113406815 B
13. 【发明专利】周绍林,陈景梵,吴朝晖,李斌,一种有PVT鲁棒性基于全差分环形振荡器的时间数字转换器,申请日期:2021.11.16,授权公告日:2022.8.12
14. 【发明专利】刘亮,周绍林等,一种基于几何相位超表面的涡旋光空间调制器,专利号:ZL 202110814668.X,授权日期:2023.3.21,授权公告号:113690624 B
15. 【发明专利】邓钦玲,周绍林等,一种基于氧化钒相变的电触发可重构太赫兹数字超表面,申请日期,2020.12.31,申请号:202011640784.6
16. 【发明专利】赵明,周绍林等,一种基于ARM核心的远程访问DLP 3D打印方法及装置,申请日期:2020.12.17,申请号:202011495709.5
17. 【发明专利】朱元杰,赵明,周绍林等,一种基于面曝光式地多自由度3D打印方法、装置及系统(专利号:ZL 202010187723.2),授权日期:2021.06.15,授权公告号:CN111361145B
18. 【发明专利】陈善日,吴雨霏,周绍林,一种基于光子晶体的可调谐帯阻滤波器,申请日期:2019.11.30,授权日期: 2022-03-25,授权公告号:110908017
19. 【发明专利】吴雨霏,陈善日,周绍林,基于超表面的太赫兹可调谐滤波器,申请日期:2019.12.13,申请号:201911281537.9
20. 【发明专利】赵明,周绍林,廖绍伟,李富华等,一种3D打印机构,201910167399.5,申请日期,2019.03.06
21. 【发明专利】赵明,周绍林等,一种3D打印方法及打印系统(专利号:ZL 201910428429.3),授权日期:2021.10.22,授权公告号:110216871 B
22. 【发明专利】邓洪朗,周绍林等,一种基于超表面的太赫兹宽带带阻滤波器,申请日期:2019.3.31,申请号:201910254777.3;
23. 【发明专利】陈睿鹏,周绍林等,一种快速响应的数字低压差稳压器,申请日期:2020.10.10,授权日期:2021.4.20,授权公告号:112068630
24. 【发明专利】李克洲,周绍林,一种1S1R型相变存储单元结构及其制备方法,201810946088.4,授权公告日:2019.3.20;
25. 【发明专利】陈旺富,周绍林等,一种实现大尺寸光固化3D打印的光学投影系统,201610802549.1,授权公开日期:2018.5.28
26. 【发明专利】陈旺富,周绍林等,一种光固化3D打印机的光学成像系统,201610802547.2,授权公开日期:2019.03.27
27. 【发明专利】陈国大,周绍林等,一种单次打印面积加倍的微投影光固化打印装置与方法,201710574335.8,申请日期:2017.7.14
28. 【发明专利】陈国大,周绍林等,一种光固化3D打印机的投影畸形矫正方法,授权日期:2020.04.7,授权公告号:CN107945130B
29. 【实用新型】陈国大,周绍林等,一种单次打印面积加倍的微投影光固化打印装置,专利号:ZL 2017-2-0854065.1
30. 【发明专利】马驰飞,周绍林等,一种光刻式3D的打印机,201310676063.4;授权公开日:2016.6.8
教学活动
《电子技术综合设计》:2014~2015年度春季学期,32学时/年;
《电子技术综合设计》:2015~2016年度秋季学期,32学时/年;
《电子技术综合设计》:2016~2017年度春节学期,32学时/年
《现代集成电路制造工艺技术》:2017~2018年春季学期,32学时/年
《现代集成电路制造工艺技术》:2018~2019年秋季学期,32学时/年
《固体物理》:2018~2019年度秋季学期,48学时/年
《固体物理》:2019~2020年度秋季学期,48学时/年
《半导体物理》:2020~2023年春季学期,48学时/年
《集成电路制造技术》:2020~2023年春季学期,32学时/年
指导学生情况
已毕业本科生40以上、硕士生约10人,在读硕士研究生10名;